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轮廓仪CF系列

 


 1. 测量功能

尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径

夹角:包含水平角、垂直角、夹角

位置公差:包含平行度、垂直度

形状公差:包含直线度、凸度、圆弧

轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆

2. 测量范围


项目

测量范围

分辨率

传感器

0-60mm

0.02μm

驱动器

120-220mm

0.1μm

立柱

320-620mm

-

     3. 技术参数

技术参数

Z1轴线性精度1

≤±(0.8+|0.05H|)μm

圆弧2

≤±(2+R/8)μm

角度3

±2′

直线度4

0.5μm/100mm

运动控制

X轴驱动方式

电动

Z轴驱动方式

电动

测量速度

1mm/s






粗糙度轮廓一体机  FDI系列

1、测量功能

尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径

夹角:包含水平角、垂直角、夹角

位置公差:包含平行度、垂直度

形状公差:包含直线度、凸度、圆弧

轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆

R参数:Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、

Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、

Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rskmin、Rsksd、Rku、Rkumax、

Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△

amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλ

a、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr

W 参数:Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、

Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、

Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、

Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△

q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr

P参数:Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、

Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、

Motif参数:Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、

Saw

截止波长(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm

评定长度:λcX2,3,4,5,6,7,X轴范围内

 

2、测量范围

项目

测量范围

分辨率

传感器

20mm

-

驱动器

120-220mm

0.0012μm

立柱

420-620mm

-

 3、技术参数

轮廓技术参数

Z1轴线性精度1

≤±(0.5+|0.02H|)μm

圆弧2

≤±1+R/12)μm

圆弧Pt

≤0.3μm

角度3

±1′

直线度4

0.3μm/100mm

粗糙度技术参数

指示精度

≤±(6nm+2.5%)

残值噪声5

≤0.006μm

重复性6

1δ≤1nm

截止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

评定长度

λcX2、3、4、5、6、7

运动控制

X轴驱动方式

电动

Z轴驱动方式

电动

                                            测量案例展示

                         


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