轮廓仪CF系列
1. 测量功能
尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角:包含水平角、垂直角、夹角
位置公差:包含平行度、垂直度
形状公差:包含直线度、凸度、圆弧
轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆
2. 测量范围
项目 | 测量范围 | 分辨率 |
传感器 | 0-60mm | 0.02μm |
驱动器 | 120-220mm | 0.1μm |
立柱 | 320-620mm | - |
3. 技术参数
技术参数 | Z1轴线性精度1 | ≤±(0.8+|0.05H|)μm |
圆弧2 | ≤±(2+R/8)μm | |
角度3 | ≤±2′ | |
直线度4 | ≤0.5μm/100mm | |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 | |
测量速度 | 1mm/s |
粗糙度轮廓一体机 FDI系列
1、测量功能
尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角:包含水平角、垂直角、夹角
位置公差:包含平行度、垂直度
形状公差:包含直线度、凸度、圆弧
轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆
R参数:Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、
Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、
Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rskmin、Rsksd、Rku、Rkumax、
Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△
amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλ
a、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr
W 参数:Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、
Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、
Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、
Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△
q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr
P参数:Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、
Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、
Motif参数:Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、
Saw
截止波长(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
评定长度:λcX2,3,4,5,6,7,X轴范围内
2、测量范围
项目 | 测量范围 | 分辨率 |
传感器 | 20mm | - |
驱动器 | 120-220mm | 0.0012μm |
立柱 | 420-620mm | - |
3、技术参数
轮廓技术参数 | Z1轴线性精度1 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
圆弧2 | ≤±1+R/12)μm | |
圆弧Pt | ≤0.3μm | |
角度3 | ≤±1′ | |
直线度4 | ≤0.3μm/100mm | |
粗糙度技术参数 | 指示精度 | ≤±(6nm+2.5%) |
残值噪声5 | ≤0.006μm | |
重复性6 | 1δ≤1nm | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 |
测量案例展示